镍硅铜厂商介绍一种镍硅化物的制作方法

作者：靖江盈嘉铜业有限公司浏览：14 时间：2022-01-13

一种镍硅化物的制作方法，将形成镍硅化物时的传统两次退火优化为三次退火工艺，通过在栅极外侧增加di二侧墙，并采用Pt含量相对低的NiPt进行di一次退火，以及去除di二侧墙，并采用Pt含量相对高的NiPt进行di二次退火，使得有源区上硅化物中的Pt分布更接近沟道，且其浓度在水平方向上具有渐变趋势。

一种镍硅化物的制作方法，将形成镍硅化物时的传统两次退火优化为三次退火工艺，通过在栅极外侧增加di二侧墙，并采用Pt含量相对低的NiPt进行di一次退火，以及去除di二侧墙，并采用Pt含量相对高的NiPt进行di二次退火，使得有源区上硅化物中的Pt分布更接近沟道，且其浓度在水平方向上具有渐变趋势。
靠近沟道区域的硅化物中的Pt含量相对较高，使此区域硅化物更加稳定，可改善因piping defect(金属硅化物的管状钻出缺陷)而造成的漏电流；而远离沟道的硅化物中的Pt浓度相对较低，从而降低了此区域硅化物的电阻。